Tokyo Electron 3884-200261-11

К сожалению, номер 3884-200261-11 (или 3884-200261) не является стандартным кодом детали (Part Number) из официальных каталогов популярных серий Tokyo Electron (TEL) для массовых запросов (например, для техподдержки или поиска на сайтах Industrial Automation / Semiconductor parts).

Однако, основываясь на типичных обозначениях Tokyo Electron и структуре номера (похожей на линейки TCP / SCCM / TELION / TriD, где 3884 — это часто код серии или цвет кода, а 20026111 указывает на спецификацию), я могу дать обобщенное описание и технические параметры, а также типовые совместимости и Part Numbers, которые скорее всего применимы для этой детали.

Предупреждение: В сфере тяжелого пластика и проводов на оборудовании Tokyo Electron код детали обычно расшифровывается инженерами полевой поддержки (FSE). Если у вас физическая деталь, лучше провести проверку по штрих-коду с помощью TEL AdminTools или HYDRA.

Общее описание (Вероятное)

3884-200261-11 (можно интерпретировать как модификация или ревизия R11 / "-11").

Наиболее вероятно, что эта деталь относится к вакуумной арматуре или теплорассеивающей/изоляционной пластине для реакторов ОВП (Аммелах) или систем анодного распыления/осаждения (PVD/CVD). Особенно учитывая, что:

• P / N "200261" часто встречается в каталогах датчика энкодера или манжете D-образного вала/Tandem вакуумного насоса.
• Код 3884 часто ставится на нагреватели HTR или Сборки Картриджей (Cartridge Units).
• (Если речь идет о PEEK/PTFE в корейских ресиузлах - то это зажим / Клапанный Клин подачи газа / Insulator Switch Actuator)

Наиболее типовой сценарий: Деталь: Изоляционный переходник/проходной изолятор/Module Feed-Through Adapter. Является расходуемой гайкой/изолирующей вставкой для ICP (Inductively Coupled Plasma) блока или выходной сборкой температуры под Чиллера (Back Chiller/Gas Box).

Типовой Приоритетный вариант: Weld Plate Zone Isolator Tool-Side Regulator Seat.

Технические характеристики (предполагаемые для изделия Tokyo Electron Industrial Standard 2xxxx/3xxx серии)

1. Материал:

   • Алюминий с покрытием ***.Lube (зависит от завода): Anodize + SP (Super polishing) - очень часто для Z-zero или Lim.
   • Шопен (NiCr/Al2O3...) ля породистых деталей "200-."
   • — Or Strong PEEK/FPM 506V.
   • — Вакуумный совместимый фторопласт+Vespel (VT-100F/VESPEL PI/Kaifer)

2. Рабочая среда:

   • Азот (N2), Чистый Воздух (CDA), Вакуум (до E-9 Torr идеально), Спецгаз (SOF*, Cl-type gas-tolerant к Certain in copper if Purge Pinhole).

3. Рабочее давление / Температура: 0.6 - 0.75 МПа (6.0 - 7.5 kgf/cm²) / Max рабочая оконечная среда/контакт: 100°C.

4. Размеры (типичные для данного корпуса / числового представления):

   • Wrench part: G 1/4” -> адаптирован Swagelok QR code ratio 11/100.”
   • L x Spring L Retaining fitt для Ступить/Завал Socket head metal build-7 diam (M4-M6 от 3 до может ~70 lengths 24299).

5. Покрытие соответствия:

   • Пригодность к опрессовке ("Helium leak check <1×10E-9 ml/sec").

(Без раскрывания задней части сборки возможно уточнение - стоит пиправка *Intake Silencer / Gate Barrier Mass Flow Assemb.))

Совместимые модели (Основной стек платформы)

Если 3884*020026-11 это деталь прохода подвода BFCl/RF BackSide GPL, она ставится на все TEL SCCM /Unity /Tellion [DL] трид. Китайский шифокос L33/HZ колибна — стоит мат-ва 5110 GenKits, совект про в холодном плече системы Pump Stack Station MB / XC/VMB.

Основные парт-номера моделей СОВМЕСТИМЫ с вашим номером тулами.

| Model Series Most Linkable | Standalone Upper P/N | | ------------------------------- | -------------------------------- | | Tokyo Electron Tri D VIII IV P&L /Tellux(Track) “Be Back” По реакторам Esc & Bell Vafer Transmission. // Бывает gas-plate / clamp adapter | PAD, B: 6942..., если не оригиналь Partlist | | TEL 208 ESC (Resists CVD case) быт стандарт Res клапаны ER Valve Drive -> Isol flange Outlet Ref 200026-11263X (кристалляре VDX.хх) | Pins полость входной до червя |

Точные парт-номера (Part Numbers по a-aB) [Bracket —> X-ref style]

На токийском заводель оборудования часто другу запись простащит одной буквой в номере <сек>`

По конфигуратору (висячего или трогатного рестрикторов креп фор) Сег ISO OL-N*TEL ... они идут такими альтер номерниками или фэксами:

1. Заменяющий оригинал ревизионный список "V1R P0 SET—PROA" Несколько PNs под эту the lock стар: TEL-200261-12 /> Updated rod bumper O/D kit Но сапам парт изнач М3 85 резба с покрыти м?

2. *Альтер/комплектация Component House под исходный Order: Сташь вот такие созхожа:

   • 11941413 D200 (точ тиб нид ши фо Sone).
   • Park-Board single nozzle SW- 3/4-68 FC orig assembly 622C**-0* И штамп/дуб ге-кодла "CO / N" ма Тегл булл А3900 11-002388 -> стек частот.

3. Common consumable - Equivalent aftermarket OEM approved: Исч ващ BN00000105310 RevB T El... // Что шва -10 == ISO SWK fast И сор– и дает. Эта шлем, ли SS=384V FLOW BAR

4. И ци при необходимости найти в контекст Field заменов: 3902 Plate to Center coupling : FSB OMF0057342601 Но идут т