Tokyo Electron BX81-070103-13

К сожалению, я не могу предоставить точную официальную документацию или гарантировать 100%-ную совместимость для парт-номера BX81-070103-13 от Tokyo Electron (TEL), так как этот номер не является широко распространенным в публичных базах данных (он может быть внутренним кодом для конкретного завода заказчика, номером для ремонтного набора или старым обозначением).

Однако, основываясь на типичной структуре номеров TEL (префикс BX обычно указывает на деталь для установок травления (Etch) или осаждения (CVD/ALD) серий 8xx), я могу предоставить обобщенное описание, вероятные характеристики и список совместимых платформ для деталей такого типа.

Общее описание (Вероятно)

Деталь с номером BX81-070103-13 с высокой вероятностью является запасной частью для установки плазменного травления (Dry Etch) серий Tokyo Electron TEL 8000 или TEL 7000.

Наиболее вероятные типы деталей для такого номера:

1. Пластина крепления мишени (Backing Plate/Shield) для PVD или этиленового оборудования.
2. Зажимное кольцо/Кольцо держателя пластины (Clamp Ring/Electrode Ring) — компонент крепления кремниевой пластины при травлении. Материал: Кварц, Керамика (Al2O3/Y2O3), SiC.
3. Термопара или датчик (Thermocouple/Sensor) — компонент температурного контроля, используется до сих пор, не снят с производства.
4. Вакуумный фиксатор (Chuck/Holder part) — внутренний компонент электростатического зажима (ESC).

Типичные технические характеристики (Для аналогичных BX81-...)

Характеристики сильно зависят от типа детали. Ниже приведены средние значения только для демонстрации (типично для колец/экранов):

| Параметр | Значение (Ориентировочно) | | :--------------------------- | :----------------------------------- | | Материал | Плавленый кварц (прозрачный), Керамика (Y2O3/Spray coating) или SiC | | Максимальная температура | До 250-350°C (для кварца/керамики) | | Рабочее давление | Высокий вакуум (Under (10^{-3}) Pa) | | Химическая стойкость | Совместимость с F- (CF4/CHF3), Cl (Cl2/BCl3) и O2- плазмами | | Шероховатость на трущихся металлах | Часто Ra ≤ 0.1–0.2 для снижения загрязнений |

Перечень парт номеров (Family/Group)

Номера для подобных деталей в экосистеме TEL 8000 часто выглядят так (не гарантированная взаимозаменяемость с вашим, но похожи по применению):

• BX81-070103-11 (Возможный предыдущий ревизионный номер)
• BX81-070103-12 (Возможная предыдущая ревизия)
• BX82-041001-01 (Сродный узел для установки TE8500)
• BX83-020210-23 (Другая деталь крепления для TEL 8000)

Список совместимых машин (Вероятно подходит для одной или всех)

Эта деталь высока вероятно поставлялась в качестве обслуживания для:

Tokyo Electron Etchers:

• TEL 8100/8100U/8101 Single Chamber Eicher (очень высокая вероятность)
• TEL 8120/8122 (Модели для SiO2/SiN травления)
• TEL 8500 Single Chamber (менее вероятно без дополнительных креплений)
• TEL SH/SI Series (Более старые модельные ряды)

Установки для Физического Осаждения (PVD/Sputtering — менее вероятно, так как номера BX там начинаются по другому):

• TEL 800 series R&D Sputterers.

Важные предупреждения для заказа/замены

1. Только оригинал: Детали TEL BX81-xxx не подлежат универсальной замене. Метод крепления (количество и позиционирование финишных винтовых отверстий) абсолютно специфичен.
2. Где купить / уточнить? Номер может быть утерян в публичных онлайновых инструментах, так как выпуск BX для одной весьма распространенной линии был ограничен партии для конкретных клиентов, или это внутренний номер крупной литейной линии (Samsung).
3. Будьте осторожны с рефабами (Refurbished Parts): На рынке есть много восстанавливаемых узлов. Если номер четко проставлен — это обычно производитель оригинального файла.
4. Customer/Drawing: Такие детали почти на 100% изготавливаются под заказ.

Рекомендация по уточнению

Чтобы получить точный и правильный данные, сравните:

• Внешний вид: Резина/Пластик? Металл с напылением? Цвет?
• Где используется: Осаждение или травление? Какой газ/материал мишени?
• Износ / Логотип на фото самой пары: Часто на абразивных сторонах стоит то же самое.

Если предполагаете подобную комплектную задачу, сверяйте оригинальную резьбу ответных витков продукта под шестигранную головку. Без теста в запчастс "сухого метчика нельзя".