Tokyo Electron CT1910-347973-11

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron (TEL) CT1910-347973-11.

Описание

Tokyo Electron CT1910-347973-11 — это высокоточный керамический держатель (сокет) для плазмы (Plasma Electrostatic Chuck, ESC или просто "Чак"), являющийся ключевым расходным компонентом в оборудовании для обработки полупроводниковых пластин.

Основное назначение:

• Фиксация пластины: Он устанавливается в камеру процесса (например, для травления или осаждения) и отвечает за надежное удержание кремниевой пластины (подложки) диаметром 300 мм (12 дюймов) во время обработки.
• Термостабилизация: Внутри чипа встроены каналы для охлаждающей жидкости (чаще всего, гелиевый зазор) и нагревательные элементы, что позволяет с высокой точностью контролировать и поддерживать заданную температуру пластины в процессе.
• Электростатическое прижатие: Основной принцип фиксации. При подаче высокого напряжения на внутренние электроды чипа на его поверхности возникает электростатический заряд, который с силой прижимает пластину. Это обеспечивает максимальный тепловой контакт и предотвращает смещение.

Конструкция: Изготовлен из специальной высокопрочной, стойкой к плазме керамики (часто на основе оксида алюминия Al₂O₃ или нитрида алюминия AlN). На поверхности нанесен износостойкий слой (например, анодированный алюминий или покрытие типа Y₂O₃), а внутри расположены электроды, датчики температуры и каналы для охлаждения.

Типичное применение: Устанавливается в кластерные платформы Tokyo Electron (TEL) для процессов сухого травления (Etch), таких как серии Tactras, Telius, Exelan и другие.

Технические характеристики (типовые для данного класса компонентов)

• Тип компонента: Керамический электростатический держатель (ESC), расходная часть (Consumable Part / Kit).
• Размер пластины: 300 мм (12 дюймов).
• Материал основы: Высокочистая керамика (Al₂O₃ / AlN).
• Материал поверхности: Износостойкое покрытие (например, анодирование, Y₂O₃-содержащее покрытие).
• Тип прижима: Электростатический (Джонсена-Ранка или кулоновский).
• Контроль температуры: Интегрированные нагревательные элементы и каналы для охлаждающей жидкости (гелия).
• Интерфейс: Механическое и электрическое соединение с основанием модуля камеры (Base Assembly).
• Стойкость: Высокая стойкость к агрессивным химическим средам (Cl₂, HBr, CF₄, O₂ и др.) и плазме.

Парт-номера (Part Numbers) и связанные компоненты

Номер CT1910-347973-11 является уникальным артикулом TEL. Часто он входит в состав более крупного ремонтного комплекта или связан с другими деталями. Возможные связанные парт-номера:

• CT1910-347973-XX: Другие модификации того же чипа (например, с другим покрытием или для другого процесса).
• Набор для обслуживания (Maintenance Kit): Может входить в комплект, например, MK-XXX, который включает прокладки, уплотнительные кольца, крепеж.
• Сопутствующие детали:
  • Прокладки (Gaskets/Seals): Для герметизации (например, эластомерные O-rings).
  • Контактные пины (Contact Pins): Для электрического соединения.
  • Крепежные элементы (Clamps, Screws).
• Альтернативные или устаревшие номера: Иногда могут существовать номера предыдущих ревизий или локальные аналоги. Для точного определения необходим доступ к внутренним каталогам TEL или запрос у официального поставщика.

Совместимые модели оборудования (Platform Compatibility)

Данный компонент совместим с кластерными системами Tokyo Electron (TEL) для травления. Важно: Совместимость всегда должна уточняться по спецификации производителя, так как даже в рамках одной модели могут быть разные версии модулей.

Наиболее вероятные совместимые модели:

1. Серия TEL Tactras™: Широко используемая платформа для сквозного травления диэлектриков и кремния.
   • Модели: Tactras, Tactras 2, Tactras S.
2. Серия TEL Telius™: Кластерная система для высокоскоростного травления.
   • Модели: Telius, Telius SP, Telius Omega.
3. Серия TEL Exelan™: Платформа для гибкого травления (дешевле в эксплуатации).
   • Модели: Exelan, Exelan HPe, Exelan Flex.
4. Другие платформы TEL: Может использоваться в некоторых конфигурациях более старых или специализированных систем, таких как:
   • Серия Trias™
   • Серия Unity™

Критически важное примечание: Для точного подтверждения совместимости необходимо указать точную модель камеры (Chamber Module) и номер ее сборочного узла (Assembly Number), например, C-3021, C-4570 и т.д., а также процесс, для которого используется камера (травление оксида, поликремния, металла). Эта информация обычно есть на шильдике оборудования или в технической документации.

Рекомендуемые действия:

1. Сверить номер CT1910-347973-11 с внутренней спецификацией или списком запчастей (Bill of Materials, BOM) для вашей конкретной камеры TEL.
2. Обратиться к официальному дистрибьютору или в сервисную службу Tokyo Electron для окончательного подтверждения совместимости и заказа.
3. Учитывать, что данный компонент имеет ограниченный срок службы (определенное количество рабочих часов или циклов) и требует профессиональной установки и калибровки.