Tokyo Electron DS012-000722-1

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron DS012-000722-1.

Общее описание

DS012-000722-1 — это сопло для распыления химического раствора (Chemical Liquid Nozzle), критически важный компонент в системах нанесения покрытий (Coaters/Developers) компании Tokyo Electron (TEL). Оно используется в процессах фотолитографии при производстве полупроводниковых пластин.

Основная функция: Точное, равномерное и контролируемое распыление жидких химикатов (фоторезист, растворители, проявители и т.д.) на поверхность вращающейся кремниевой пластины. Это обеспечивает формирование тонкой, однородной пленки.

Типичное применение: Установки серии TEL ACT™ (например, Track Systems).

Ключевые особенности:

• Высочайшая чистота: Изготовлено из материалов, совместимых с высокочистыми химикатами, не создающих загрязнений (часто используется PFA, PTFE или высококачественная нержавеющая сталь).
• Прецизионная конструкция: Определяет геометрию потока, угол распыла и расход жидкости, что напрямую влияет на толщину и uniformity пленки.
• Надежность и долговечность: Рассчитано на длительную работу в агрессивной химической среде.

Технические характеристики (типовые)

Поскольку это специфическая деталь производителя, полные тех. характеристики не публикуются в открытом доступе. Однако, основываясь на назначении, можно указать ключевые параметры:

1. Материал: Высокочистый химически стойкий полимер (например, PFA (перфторалкокси), реже PTFE) или пассивированная нержавеющая сталь марки SUS316L.
2. Тип соединения: Резьбовое или фитинг Quick Connect (например, Swagelok® или аналог) для подключения к жидкостной магистрали. Размер обычно 1/4" или 1/8".
3. Диаметр выходного отверстия (Орайфиса): Критический параметр, определяющий расход. Стандартные размеры в диапазоне от 0.1 мм до 0.5 мм, в зависимости от вязкости химиката и требуемой скорости нанесения.
4. Угол распыления: Сконфигурирован для оптимального покрытия пластины (обычно узконаправленный поток).
5. Совместимые химикаты: Все стандартные фоторезисты, растворители (PGMEA, EEP), проявители (TMAH) и т.д.
6. Рабочее давление: Рассчитано на типичное давление в жидкостной системе коутера (обычно от 0.1 до 5 бар).
7. Класс чистоты: Соответствует стандартам чистоты для полупроводникового производства (без частиц, низкое выделение газов).

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимые модели

Этот номер является оригинальным внутренним номером детали TEL (OEM Part Number). Он используется для заказа непосредственно у Tokyo Electron или у ее авторизованных дистрибьюторов.

Важно: В полевых условиях часто используются альтернативные или перекрестные номера от производителей совместимых расходных материалов (aftermarket parts).

1. Совместимые модели оборудования (Platforms):

Сопло DS012-000722-1 предназначено для следующих серий оборудования TEL:

• TEL ACT™ Series: Наиболее вероятное применение.
• Модули Clean Track: Серии MARK, 8 Series, 12 Series (например, ACT 8, ACT 12).
• Конкретные модели Coater/Developer модулей: Модели, такие как CLEAN TRACK ACT 8, LITHIUS, CLEAN TRACK ACT 12.
• Это сопло может использоваться в различных позициях: для нанесения фоторезиста (Coat), нанесения покрытия, повышающего адгезию (Adhesion Promoter), или для проявления (Develop).

2. Прямые аналоги и перекрестные ссылки:

У других производителей могут быть свои номера для функционально эквивалентных деталей. Для поиска аналога необходимо знать точные геометрические и присоединительные размеры.

• Аналоги от производителей расходников: Компании, специализирующиеся на совместимых запчастях (например, KX Technologies, Fil-Tech, AP&S и др.), могут иметь свои каталожные номера для этого сопла.
• Универсальные номера: Иногда используются общие описания, такие как "TEL Nozzle, PFA, 0.20mm", где 0.20mm — примерный диаметр отверстия.

3. Ключевые номера для поиска аналогов:

Для точного поиска совместимой детали, помимо DS012-000722-1, необходимы следующие уточнения (которые обычно указываются в спецификации машины или на старой детали):

• Тип насоса/блока дозирования: Например, сопло для насоса TEL DSP-2000 или DSP-1000.
• Тип химиката (Chemical Line): Resist, Solvent, Developer.
• Размер фитинга и диаметр отверстия (Orifice Size): Это самый важный параметр. На самой детали или в спецификации может быть маркировка, например, "0.20" или "0.15mm".
• Фирменный номер фитинга: Например, Swagelok SS-4M0-1-4 или аналогичный.

Рекомендации по заказу:

1. Предпочтительный путь: Обратиться к Tokyo Electron или официальному дистрибьютору TEL, предоставив полный номер DS012-000722-1 и номер вашего оборудования.
2. Альтернативный путь: Обратиться к поставщику совместимых расходных материалов для полупроводниковой промышленности. Им потребуется:
   • Оригинальный номер TEL.
   • Фотография детали.
   • Номер модели вашего коутера/девелопера (например, ACT 8).
   • Информация, для какого химического блока (pump) и для какой жидкости оно используется.

Это сопло является расходным материалом и подлежит периодической замене при износе или для поддержания стабильности процесса.