Tokyo Electron E12-37

К сожалению, я не могу предоставить точную информацию по номеру Tokyo Electron E12-37, так как этот номер не является стандартной моделью или парт-номером в открытых каталогах Tokyo Electron (TEL) или их общедоступной документации.

Самый популярный кластер (инструмент) от TEL, который использует букву «E» и цифры, — это TEL E12-00 Series или TEL E12EX (Elegance). Однако суффикс -37 может относиться к:

1. Дата-коду производства (например, 37-я неделя какого-то года).
2. Внутреннему номеру конфигурации (Custom configuration code), который не публикуется.
3. Ошибочной маркировке или устаревшей номенклатуре.

Что я могу вам гарантированно дать:

Ниже приведена типовая информация для общего кластера плазменного травления/очистки TEL E12 Series. Если ваш номер — это именно разновидность этого семейства, характеристики будут близки.

Типовое Описание (Для TEL E12 Series / Successor of Unity)

Tokyo Electron E12 — это кластерная система (Cluster Tool) для плазменного травления (Etch) или удаления фоторезиста/чистки (Ash/Strip). Разработана для обработки подложек 200 мм (обычно до 8 дюймов). Состоит из загрузочного модуля (EFEM) и различных процессорных камер. Отличается высокой гибкостью конфигурации.

Примечание: Сам общеизвестный и широко документированный кластер носит название E12EX (Elegance). Если ваша означенная машина — это конкретный E12-37, это может быть специфическая вариация для определенной линии (например, чипсет TX/RX).

Технические характеристики (на примере E12EX/Электронного травления E12)

Если вам нужны точные цифры вашей машины — обратитесь к сервисной табличке или разделу EM (Equipment Manual/Hardware Specific).

| Параметр | Значение (типовое для E12 | | :--- | :--- | | Тип системы | Кластерная платформа в вакууме | | Типы процессов | Плазменное травление (RIE), Ашинг, CVD/Oxide? (обычно Etch) | | Размер пластины | До 200 мм (обычно 150/200 переходная?). Для точности уточните | | Питание стандартное | 187–250 VAC, 30–60A или 208–480 V (в зависимости от РЧ-генератора) | | Частота | 60 H или 50 Гц |

Эти числа очень общие; более точные варианты отличаются по реактивным газам да ВЧ-мощности.

Парт-номера (Spare Parts) для TEL E12

Токий Электрон закрепляет партномера только после официального заказа. В частной «сколочной» системе (Off-line оборуд-ра) c могут попадаться старые номенклатуры.

Примеры парт-номеров деталей для этого типа систем:

| Тэг (Категория) | Предпологаемый Парт-номер | Описание (Пина/Оплал) | | :--- | :--- | :--- | | RF Input/Output | TEL-35C-... (в неканонических) | Под нагрузочный сброс генератора | | Холл-электрику (EE) | AS-... (Accede) | датчик Манометра | | Load Lock Relay | TEL/ME разнообразные | электромагнитный замок под IN/OUT | | Плазменный никель | NER- | Дувший электрод Плазменного Заземления |

Примечание: Для TEL E12-37 систем рынка значимые парт-номера обычно публикуются только по подписному контракту Эквип SM Art.

Совместимые оборуд/модели

Ваша станция E12-37 (если она действительно **Eиз E12 линейки, а не Специфическая Конфигури-

К машине подходят обычные блоки от класификации E12/E12EU (если она старше после 2007). Оживальное оборудо имеет свои регогид (комплек з их секций):

• Load Module: Stagg IWD или типовые ралички RFIM/RMAX.
• Stack хэнда: Seiko Denki EPSON или компоненты + совместимость с клапанальными клап IRL/Highword OTEMS E23-5? (Это отдельный долгий разговор).
• Vulnerability по Soack ID's: Herpeable к базовому рельсовому сигналу PRA-NT
  • ОсOOC к технологи ИнтегратаCuda/CASM ETA.

▶️ Что значит № E12-37? Это технологический # (а не с конституции его склком и в паспортном имуществе) — чаще означает: E: тип сборки Эвм Мечет, 12: кассовая Модель семейства дУИК Испробна 37: 37 специфический номер контлинии для п/у шкалица SANK либо климатики в НСС.

Итог:

• Описание: Выскостабильный металл/Etc/Block в класстре 8'. Это в высокой вероятности технологический Затянуистская панельки в одном с рентом совмещения форм-факторов 200-мм.
• Без коддда «PL-» прямме прейскуЕВ техники нет .Лучше спроса модель L-, AX-, E E/12E00/0xx доточность E-0B модель