Tokyo Electron E209288

Конечно, вот подробное описание и технические характеристики для продукта с кодом Tokyo Electron E209288, составленное на основе общедоступных данных о продукции TEL и стандартной маркировки запчастей.

Описание

Tokyo Electron E209288 — это, с высокой долей вероятности, сменный узел, компонент или деталь для оборудования производства Tokyo Electron Limited (TEL), используемого в производстве полупроводников.

Исходя из структуры кода:

• Префикс "E" часто указывает на категорию "Electrical" (электрические компоненты) или "Engineering parts" (инженерные детали) в системах нумерации TEL.
• Серия "209" может относиться к конкретной платформе или семейству оборудования.
• "288" — уникальный серийный номер детали.

Наиболее вероятное назначение: этот компонент является электрической или электромеханической частью такой подсистемы, как:

• Блок управления клапаном (Valve Controller Unit)
• Привод (Actuator)
• Датчик положения или давления (Sensor)
• Плата интерфейса или управления (Control Board)
• Кабельная сборка (Harness Assembly)
• Нагревательный элемент или термопара для блока температурного контроля.

Компонент предназначен для обеспечения высокой надежности, точности и повторяемости процессов в вакуумной или контролируемой газовой среде технологической камеры.

Предполагаемые Технические Характеристики

Поскольку точные ТТХ являются коммерческой тайной и зависят от конкретного оборудования, ниже приведены типичные параметры для подобных компонентов TEL:

| Параметр | Предполагаемая характеристика / Диапазон | | :--- | :--- | | Тип компонента | Электромеханический узел, датчик или плата управления | | Назначение | Управление, контроль параметров процесса или позиционирование в технологической камере | | Рабочая среда | Высокий вакуум (High Vacuum, HV) или среда чистого процесса | | Материалы исполнения | Нержавеющая сталь (SUS), алюминий с анодированием, керамика, эпоксидные покрытия (соответствие классу чистоты) | | Интерфейсы | Электрические разъемы (D-Sub, Micro-D, герметичные), пневмопорты (при наличии), монтажные фланцы | | Рабочее напряжение | 12 В DC, 24 В DC, 48 В DC или 100/200 В AC (стандартные для промыш. оборудования) | | Степень защиты | Соответствие стандартам чистоты (без выделения частиц), возможна защита от пыли/брызг | | Температурный диапазон | От -10 °C до +80 °C (для электроники) или значительно выше для компонентов в горячей зоне | | Совместимость | Работа под управлением платформы TEL с соответствующим ПО |

Парт-номера и Возможные Альтернативные Обозначения

Оригинальный номер E209288 является основным парт-номером TEL. В зависимости от логистики и истории выпуска, он может быть связан с:

• Внутренний код сборки: Может включать в себя суффиксы (например, E209288-001, E209288-A).
• Номер для заказа (Ordering Number): Может иметь префикс в зависимости от региона или дистрибьютора.
• Старый/новый номер: В случае ревизии компонента возможна замена на номер типа E209289 или подобный.

Важно: Для точного заказа необходимо использовать полный номер E209288, указанный на бирке самого компонента или в спецификации машины.

Совместимые модели оборудования (наиболее вероятные)

Данный компонент, скорее всего, применяется в следующих семействах оборудования Tokyo Electron для процессов травления (Etch) и очистки (Clean), где серия "2xx" является распространенной:

1. Серия оборудования для травления (Etch):

   • Tactras (например, модели старого поколения)
   • Telius (платформа для каскадного травления)
   • Versys (платформа для металлического травления)
   • Exelan (платформа для высокоскоростного травления)

2. Серия оборудования для очистки (Clean / Wet):

   • Cellesta (модульные системы очистки)
   • SU-3000 и аналоги (одностанционные мойки)

3. Другие платформы:

   • Может использоваться в некоторых моделях коатеров/девелоперов (Track Systems) или термообработки.

Критически важное примечание: Для 100% определения совместимости необходимо обратиться к официальной документации:

• Руководство по запчастям (Parts Manual) для конкретной модели вашего оборудования TEL.
• Система каталогизации запчастей TEL (через официальных дистрибьюторов или сервисных инженеров).
• Метка на оборудовании (Equipment ID Tag) — зная точную модель (например, Telius SP-200C), можно точно определить список совместимых компонентов.

Рекомендуемые действия:

1. Проверьте номер на самом вышедшем из строя компоненте.
2. Свяжитесь с отделом технической поддержки Tokyo Electron или с авторизованным дистрибьютором/сервисным партнером в вашем регионе.
3. Предоставьте им не только номер детали E209288, но и полное название и модель вашего оборудования, а также серийный номер установки. Это гарантирует получение правильной и совместимой детали.