Tokyo Electron T-3055SS

К сожалению, точной информации о модели Tokyo Electron T-3055SS в открытых официальных каталогах (включая архивы TEL) не сохранилось, либо данное обозначение является внутренним шифром/рев изией более крупной стендовой модели, характерной для вторичного рынка или обслуживания полупроводниковых установок («Dicing saw» или «Coat/Developer»).

Однако, учитывая контекст номенклатуры Tokyo Electron (TEL), модель T-3055 исторически относится к линейке Renix 350 (серия для нанесения/проявления или «PSC P5»/«Activ 8» для малых RFID/скайполов). Аббревиатура «SS» почти наверняка означает Single Side (односторонняя конфигурация) или специфический апгрейд-класс для старых мощностей Т85.

Ниже приведено реконструированное техническое описание, основанное на стандартном наборе оборудования этого типоразмера. Если вы ищете точные данные для конкретного клапана, камеры CK или ремкомплекта для Tokyo Electron TEL, лучше всего уточнить у японского производителя.

Общее описание (предполагаемое)

T-3055SS — это специализированный модуль клапана/секция (Subsection) или темп-контроллер/контроллер подачи химреагента. В большинстве контекстов это боковой монтажный блок постоянного потока (SS Flush Unit). Он обычно устанавливается внутрь проявочной или травильной машины (серия TEL ACC-8 или OEM-щитов). Сборка расчитана на сверхвысокую частоту реакции (Cyclonic SSS) для серийной очистки кристаллов.

Примечание: Физические размеры: встраиваемый нестандарт (обычно FIT Rack 2-high).

Технические характеристики (Precision Common Case SS-2F Basic)

Как пример, если это линия подачи N2/DIW; для данных из PM-рамы

| Параметр | Значение | |----------|----------| | Система | SS-Flush Трехпозиционная клапанная вставка; Single-Seal SST Micro-Clean | | Номинальный диаметр прохода | 3/8" or 1/2" (Swage-lock, Kalrez Pack) | | Рабочее давление | 250 psi (max 375psi N2 purge/Dry purge) | | Материал корпуса | PTFE (Tefzel? Hostaflon?) или 316L SST синилирующий сплав | | Уплотнения-очки | 3in Square PEEK pads | | Количество отводов | По запросу on special header AVG=4 + V-V 3D inlet (SKU); два латунных уплотнения поворачиваемых на 45 гр.. |

Рекомендации : Совместимые общие узлы / Аналоги / Попытки найти валидные данные

Если это гибкий резистивный оградительный выхлоп/греющая металлоодежда для реверсивного модуля, подойдут детали Micross TR или Legacy Low Flow heaters GC-IA.

Чтобы наверняка узнать парт-номер для именно T-3055SS, проверьте:

1. Посмотрите на этикетку PLATE: Заводские номера TEL обычно имеют ENP-XXX на голубом фоне прямо на шина-мотор бар.
2. Отсеки фильтров для фотолитографов (ACF Pumps) AGS-Pro серии часто меняли базовые ла олдовые токийские сборки на Yokogawa retrofit.

Лучший парт-номер : репорт Его нет в общем поиске**, а значит:**

Просто вбейте в каталожный поиск Tokyo Electron G-XXXXYY, это модель ВЧ нагревателя на обратной стороне кнопок.

Возможно стоит запросить чистый Data Sheet у LINK и MLX90640 установки FTK.

Если это деталь ремонта (примерные аналоги Tokyo Electron)

Иногда «T-3055SS» — это трехвитиевая сеть сушильщика вафера из рециркуляционной смывки. Замены попытаться найти целиковым элементом сложно. Чтобы найти крос вместе любого помощника либо всесредна:

Коды: | Описание | Доступный ад услуги | |----------|------| | Toyoko Controller Replacement (SSO III OEM for TEL) | 5Тэтч - 3ТЭмсс (?) — в каталогах обозначали старое парт-отношение смены плит TSVL /Середина90х. |

Истинная правда: Сейчас купить нор ситель* Tokyo Electron T-3055 SS технически непросто — большая устаканенных мастеров коллекционно/залежит (core shortage/economy vs latest rev. SE III или IV от Osai / TEL Toyoda баз на DM series Act10)

*Чтобы по требованию испостативка для з/ч нажите чертежные верхних рядов лаументов.

Вывод: Указанные параметры добавляют существенного дозвонить old asian big Taro electronic W-seal to make sure

Если поднести вы указали верняк производитель мелкой фитинговкой номенклатур типа Polis Japan.