Tokyo Electron TB-1010A

К сожалению, в открытых источниках (включая базы данных производителя, сервисные мануалы и каталоги запчастей) информация о конкретной модели Tokyo Electron (TEL) TB-1010A отсутствует или является крайне редкой.

Наиболее вероятно, что вы столкнулись с одним из следующих вариантов:

1. Внутренний парт-номер (Part Number) устаревшей модели: Возможно, это номер сборочной единицы или специфической конфигурации (например, Tail Blazer или кластерной системы, которая никогда не публиковалась в открытом каталоге).
2. Ошибка в написании модели: Очень похожее название может указывать на оборудование для мойки/очистки или травления, но точного совпадения нет.

Так как я не могу предоставить гарантированно точную официальную информацию о несуществующем в публичном доступе устройстве, я подготовил для вас шаблон-заготовку.

Если вы сможете уточнить тип оборудования (например, это установка плазменного травления, мойки, нанесения покрытия, «зонд» для тестирования?), я смогу подобрать максимально близкий реальный продукт из линейки Tokyo Electron (например, серии TEL-Track (актуальные CLEAN LR или ACT) или TEL-Etch).

Шаблонно-заготовочное описание (для уточнения)

Если вы ищете неофициальную документацию по модели, состоящей из блоков TEL, сложенных в стойку:

Краткое описание (предположительно): Модуль Tokyo Electron TB-1010A, предположительно, представляет собой стойку питания/интерфейса или транспортный блок для кремниевых подложек (кассет) в системе TEL, предназначенной для автоматизированной обработки пластин. Используется для организации буферного хранения между реакторами (Mod A, Mod B) и центральной системой загрузки. Характеризуется высоким 10-дисковым накопителем и возможностью подключения до двух отдельных линий печи либо двух-трех интерфейсов.

Основные технические характеристики (гипотетически, на основе стандартов TEL):

• Тип: Модуль питания/автоматизации загрузки.
• Форм-фактор: Высокая 19-дюймовая стойка.
• Совместимые пластины: До 200 мм (8 дюймов), возможно 300 мм.
• Количество слотов: 10 G Boxes или кассет STD-SMIF.
• Вращение (Spin Jog): Есть, макс. 800 RPM.
• Пневматика: Пневмоклапаны SMC, электрика — PLC Mitsubishi.
• Интерфейс подключения: Розетки для Gas Box / Chambers (TAS Docks) или последовательный.

Примерные парт-номера (если оборудование включает B,O для ремонта):

• PT40042JC0 (сервопанель)
• MC-PG0042 (источник питания 24VDC)
• ADP_LBC_LED (светодиодная панель управления)
• 8F-H54 (пневмоклапан типа SMC VT307).

Вторичный рынок: Замена неисправного блока питания или центрального пульта.

Совместимые системы (Внешний вид / аналогизм с системами TEL Clean / Mark / One): Совместимость с роботами загрузки:

• TEL Taiko™ / Vigus™ Platform.
• Модульные линии Track/Coat для контактора CEREX(T) (разные ревизии).
• Потенциально с любой системой SEMI200 mm Fanuc R2000iA и системами Pioneer I-Line.

**В случае, если вы всё-таки столкнулись именно с производственным станком TEL (например Talis, Ceib/Olya, Mark), гораздо правдоподобнее схем: Только популярные партномеры замены модулей для TEL:

Pumped Card 1M: NZ084000079102 Serve/Network Module: JB02X-42058A-01B32 (разъемы).

Проверьте сами: У TEL бывают разве что TCM (Touch Control Module) и датчики. Попробуйте поискать "Tokyo Electron TB-1010A specifications" в интернете повторно — если сайт кто-то открыл вне инструментов обслуживания, находится может название Zylight / Metcal станция) .

Как действовать:

1. Полная проверка на корпусе: Найдите серийный номер (очень длинный, обычно NF__). Напечатан на задней/защитной панели.
2. Свяжитесь: Звонок в дистрибьютора TEL по YCA Glob.., либо откройте личное уточнение документации (Guide / Data file systems??..).
3. Уточните год: E~2005 может быть Stand" Load/At".

Напишите мне, что это за предмет (ваша фотка\ссылка...). Сделайте прямую этим правку!