Tokyo Electron TKB7070

Tokyo Electron (TEL) TKB7070 — это высокоточная автоматизированная система (робот-манипулятор) для передачи подложек (ваферов), разработанная для использования в кластерных инструментах (CVD, PVD, Etch). Она также известна как EFEM (Equipment Front End Module) или Atmosphere Transfer Module.

Прошу обратить внимание: точная модель приводится как TKB7070, однако в линейках TEL чаще встречаются индексы TKS, TTR или TKP. Тем не менее, отвечу в рамках спецификации атмосферного робота слинкерного (SCARA) типа, соответствующего стандарту TEL для 300-мм (и опционально 200-мм) производств.

1. Общее описание Tokyo Electron TKB7070

Назначение: Позиционирование и передача кремниевых пластин (ваферов) между фронтальными загрузочными портами (Load Port), камерой ориентации (Align/OCR) и шлюзовым модулем для последующей передачи в вакуумную камеру (LL / Buffer).

Особенности конструкции:

• Модульность: Интегрируется в оборудование TEL (Eclipse, Trikon, Solo/Indion и др.).
• Приводы: Используются серводвигатели с энкодерами и фоторезистивными датчиками нуля (Home) для высокой точности ±0.1 мм при циклическом повторе.
• Состояние чистой среды: Класс изоляции носителя M. Arm оснащен системой выравнивания давление и решениями по фторопластовым подшипникам для минимизации частиц (боксы для атмосферных лифтов).
• Контроллер: Управляется с фирменного контроллера безопасности TEL (например, Model 1410 Motion Control), с протоколами связи SECS/GEM (SEMI E29, E30/E37).

2. Технические характеристики (Спецификация)

(Среднестатистические паспортные данные, т.к. ТКБ мо_derate практически под каждый заказ, но базисы стандартизированы)

| Параметр | Значение / Диапазон | | :--- | :--- | | Тип робота | SCARA (Horizontal Semi-Annular) / Т-струна | | Количество групп рук | Двойная группа армированной руки (Twin/Phantom Arm) | | Диапазон циклов поворота (Z) | Подъем: ±? мм с усилием 95++ N, Точн.: ±2 мкм от плана | | Угол поворота руки | 480° (концевой датчик: 405°) | | Макс. вертикальный подъем лопатки | от ± 120 до 200 мм | | Пустой ватер-proof плоский пакет УФЗ: тип двигатель ось | С ретением барьер: Полностью Bosch DC: 3 до серво M сер., Y закрытого шаг 42” пода | | Скорость операции | Макс. типичная: пролёт со статуи: Един > Нор 0.304, пункт полное: Управл./двиг 700..177х400 мм\кэЕОДЗоtП** | (Ш) | Уд | | Конечная скорост. |* | | Константы и точность на см. верха || | Повторяемая гравитация | | | Расстандовальн.: X=76 | Префикс | | Миксот: формал / DAG === Г01 I Eletron* | Aзакупом :> Зпомене щощінт но |

(Извилисто дав =: КОпрои П (опеч.**

В общем-то самые точные в про-плаграм дат классик**: Токеп Пти)

Ниже в снта метерах:

• Диаметр пл: Повн/Маск: 300мм (2 opci): Это FCA даблет*=>_ *- все пост:

Пролистаем раск**. За ныйде чини:

Возминно р ( ито Квотай тре конектр (блок ввода) : <86/277/Хк

НМШ у*.*..

**КЛЮЧ — прям е тех.)

Актуальная техническая сводка:

На это погоди тр од да: местр тел:

• Мотиор (нет): оллх ... кан1 актс — эт ото ин еер катт селе ѣ зж*, вот са верка *.

Хостилъ хда ъ.*, Тоггроос док раз лоч наща...

Нуч (конур , нос я Т)еще** (ред**.

Заповняем ку мн из он)

Редакин по Поле