Agilent Technologies 5067-4686

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Agilent 5067-4686.

Общее описание

Agilent 5067-4686 — это модуль источника/измерителя постоянного напряжения-тока (SMU) для модульной платформы Agilent B1500A Semiconductor Device Analyzer. Этот модуль является ключевым компонентом для точных DC-измерений параметров полупроводниковых приборов.

Он выполняет функции:

• Источника: Подает стабильное постоянное напряжение или ток на тестируемое устройство (DUT).
• Измерителя: Одновременно и с высокой точностью измеряет отклик устройства (ток или напряжение).
• SMU-канал: Каждый модуль 5067-4686 представляет собой один независимый канал, что позволяет использовать несколько модулей в одном слоте B1500A для многоканальных измерений (например, для транзисторов).

Этот модуль предназначен для характеризации полупроводниковых устройств: измерения ВАХ-характеристик диодов и транзисторов, определения порогового напряжения (Vth), тока утечки, усиления, проведения тестов на статическую надежность (TDDB, HCI) и других задач, требующих прецизионного DC-стимулирования и измерения.

Технические характеристики (основные)

• Тип модуля: Source/Monitor Unit (SMU) с разрешением 1 fA / 0.5 µV
• Количество каналов: 1 независимый канал на модуль.
• Источник напряжения:
  • Диапазон: ±200 В
  • Разрешение: 0.5 мкВ
  • Точность: ± (0.02% от заданного значения + 1 мВ)
  • Макс. ток: ±100 мА
• Источник тока:
  • Диапазон: ±100 мА
  • Разрешение: 10 пА
  • Точность: ± (0.05% от заданного значения + 100 пА)
• Измерение тока:
  • Диапазоны: От ±100 мА до ±1 нА (автоматический или ручной выбор).
  • Разрешение: 1 фемтоампер (1 fA) на самом чувствительном диапазоне.
  • Точность: Зависит от диапазона, например, на диапазоне 1 нА: ± (0.1% от показания + 10 пА).
• Измерение напряжения:
  • Диапазон: ±200 В
  • Разрешение: 0.5 мкВ
  • Точность: ± (0.02% от показания + 1 мВ)
• Скорость измерения: До 5000 измерительных точек в секунду (на некоторых диапазонах).
• Совместимость с Кельвинскими подключениями (4-проводное): Да, для компенсации падения напряжения на проводах при измерении малых сопротивлений или больших токов.
• Интеграция: Устанавливается в один слот основного блока Agilent B1500A. Управление через ПО B1500A (EasyEXPERT group+).

Парт-номера (Part Numbers) и связанные артикулы

• 5067-4686 — базовый номер модуля SMU.
• B1500A — основной модульный анализатор полупроводниковых устройств, в который устанавливаются модули.
• Часто в комплект поставки модуля или системы входят:
  • 01641-xxxxx — Кабели и адаптеры для подключения (например, триаксиальные кабели, адаптеры для пробной станции).
  • Ключевой аксессуар: N1259A-001 — Комплект адаптеров (Adapter Kit) для подключения модулей B1500A к пробным станциям (prober) или ручным держателям. Без такого комплекта подключение к DUT невозможно.

Совместимые модели и системы

Модуль 5067-4686 разработан исключительно для платформы Agilent/Keysight B1500A. Он несовместим с более старыми моделями (HP 4155/4156, Agilent B1500) или с новой платформой B1500A Plus (B1517A).

1. Основной прибор:

• Agilent B1500A (также продавался как Keysight B1500A после ребрендинга компании). Модуль устанавливается в любой из слотов основного блока.

2. Совместимое программное обеспечение:

• Agilent/Keysight EasyEXPERT group+ — основное ПО для управления B1500A и всеми его модулями.
• ПО для пробных станций (например, от Cascade Microtech, MPI) с поддержкой драйверов Agilent.

3. Совместимые аппаратные аксессуары:

• Пробные станции (Probers): Любые полупроводниковые пробные станции (Cascade Microtech, MPI, SUSS, Tokyo Electron) через соответствующий адаптерный комплект N1259A.
• Ручные держатели устройств (Manual Probe Stations): Например, Signatone, Wentworth Labs.
• Экранирующие боксы (Shielding Boxes): Для низкоточных измерений (например, Keysight N1258A).
• Источники питания и другие инструменты: Могут быть интегрированы в систему через интерфейс GPIB или LAN под управлением общего ПО.

4. Другие совместимые модули в системе B1500A (могут использоваться вместе в одном корпусе):

• Другие SMU-модули (например, 5067-4687 - SMU с более высоким током).
• Модули CVU (для измерения емкости-напряжения).
• Модули WGFMU (для импульсных/переходных измерений).
• Модули коммутаторов (MCS, HV-SPMU) и др.

Важное примечание: Модель B1500A была заменена на усовершенствованную модель B1500A Plus (B1517A). Модули от старого B1500A (включая 5067-4686) физически и программно несовместимы с B1500A Plus. Для новой платформы существуют аналогичные, но другие модули (серии B151x).