Bronkhorst RUR-103T

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация по совместимости для регулятора расхода газа Bronkhorst RUR-103T.

Описание

Bronkhorst RUR-103T — это высокоточный аналоговый регулятор расхода газа (массовый расходомер/регулятор), построенный по принципу тепловой анемометрии. Он предназначен для динамического измерения и управления расходом газа в замкнутом контуре (системе с обратной связью).

Ключевые особенности и применение:

• Принцип действия: Прибор измеряет массовый расход газа, пропускаемого через капиллярную трубку, с помощью метода теплового рассеяния. На основе этого измерения и заданного значения (уставки) внутренний ПИД-регулятор вычисляет управляющий сигнал для пропорционального клапана, поддерживая расход с высокой точностью.
• Основное назначение: Управление подачей технологических газов в процессах, где требуется стабильный и воспроизводимый расход.
• Типичные области применения:
  • Полупроводниковая промышленность (подача легирующих, защитных и реакционных газов).
  • Фотовольтаика (нанесение покрытий).
  • Лабораторные исследования и пилотные установки.
  • Аналитическое приборостроение (калибровка, подача газов-носителей и реагентов).
  • Металлургия и обработка материалов (контроль атмосферы в печах).
• Конструкция: Моноблочное исполнение, где измерительный сенсор и регулирующий клапан интегрированы в один компактный корпус. Выполнен в стандартном формате 3-дюймового модуля для монтажа в 19" стойку или на панель.
• Интерфейс: Аналоговый (0-5/10 В или 0/4-20 мА) для задания уставки и индикации измеренного значения. Управление и калибровка осуществляются через переднюю панель с кнопками и дисплеем.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Тип прибора | Массовый расходомер/регулятор (Mass Flow Controller - MFC) | | Модель | RUR-103T | | Измеряемая среда | Газы (конкретная калибровка под определенный газ) | | Диапазоны расхода | Доступны различные диапазоны, например: от 0-5 млн/мин до 0-50 лн/мин (при нормальных условиях: 0°C, 1.013 бар) для N₂. Для других газов диапазон пересчитывается. | | Точность (от полной шкалы) | ±0.5% FS (стандартно) ±0.2% FS (опционально, O₂) | | Повторяемость | ±0.2% FS | | Линейность | ±0.5% FS | | Время отклика (T90) | < 2 секунды (зависит от диапазона и условий) | | Рабочее давление | Макс. давление на входе: 10 бар (абс.)
Макс. перепад давления: 5 бар | | Рабочая температура | Прибора: +5°C ... +50°C
Газа: до +70°C (опция +150°C) | | Электрические соединения | Питание: +15..24 В постоянного тока.
Сигналы: Аналоговый вход (Setpoint) и аналоговый выход (Actual) 0-5/10 В или 0/4-20 мА. | | Материалы, контактирующие с газом | Нерж. сталь (AISI 316L), Viton®, никель, золото (в зависимости от исполнения) | | Интерфейс управления | Цифровая клавиатура и дисплей на передней панели. | | Протокол связи | Только аналоговый. Цифровые версии имеют другие индекс (например, с RS-232, RS-485 или DeviceNet). | | Класс защиты (IP) | IP40 (для внутреннего использования) | | Вес | Приблизительно 0.7 кг |

Примечание: Конкретные значения зависят от заказанного диапазона расхода, типа калибровочного газа и опций.

Парт-номера (примеры артикулов)

Артикул формируется на основе кодов, указывающих конкретные опции. Общая структура: RUR-103T-ХХХ-ХХХ-ХХ.

Пример полного артикула: RUR-103T-AAD-33-K-S1N2

• RUR-103T – базовая модель.
• AAD – код диапазона расхода (например, 0-10 лн/мин для N₂).
• 33 – тип электрических разъемов (евроразъемы D-sub).
• K – материал уплотнений (Viton®).
• S1N2 – калибровка по азоту (N₂) при стандартных условиях (STP).

Ключевые коды в артикуле:

• Диапазон (3-я позиция): AAD, AAE, AKA и др. – определяют максимальный расход.
• Газ калибровки (последние символы): S1N2 (N₂), S1O2 (O₂), S1AR (Ar), S1HE (He), S1H2 (H₂) и т.д.
• Материалы: K (Viton), P (EPDM), S (Kalrez) и др.
• Электрические соединения: 22 (клеммная колодка), 33 (D-sub 9-pin).

Для точного определения парт-номера необходимо знать: требуемый диапазон, калибровочный газ, давление, материалы и тип разъема.

Совместимые модели и аналоги

1. В линейке Bronkhorst (прямые аналоги/альтернативы):

• EL-FLOW Select серии – следующее поколение тепловых MFC от Bronkhorst с улучшенными характеристиками, цветным дисплеем и более широким выбором интерфейсов. Модели F-201CI/F-202CI/F-203CI являются функциональными преемниками.
• IN-FLOW серии – для более высоких расходов.
• RUR-103T с цифровым интерфейсом – модели с индексами, указывающими на протокол: RS-232 (например, -22-), RS-485 / Modbus RTU, DeviceNet, PROFIBUS DP, EtherCAT.
• RUR-100T – базовая версия без дисплея на передней панели.

2. Совместимость по монтажу и сигналам: RUR-103T является отраслевым стандартом формата 3 дюйма (≈ 76.2 мм). Он механически и электрически совместим с монтажными панелями и системами управления, разработанными для MFC этого форм-фактора от других ведущих производителей, таких как:

• MKS Instruments (серии G-Series, 1179A)
• Horiba (серия Stec)
• Brooks Instrument (серия SLA)
• Alicat (серии MC, PC)

Важно: Несмотря на механическую и аналоговую сигнальную совместимость (0-5В, 4-20 мА), для замены обязательно требуется:

• Проверка диапазона расхода и его соответствия.
• Проверка калибровки на нужный газ.
• Проверка материалов на химическую совместимость.
• Перекалибровка системы управления под новые характеристики прибора.

Рекомендация: Для подбора точной модели, получения актуального парт-номера и технико-коммерческого предложения следует обращаться к официальным дистрибьюторам Bronkhorst в вашем регионе.